MUSUBI

ソリューション

MUSUBIは、多様化する加工プロセスに応じて複数の装置を連結する、高い拡張性を持ったクラスターシステムです。装置間の搬送を自動化し、ウェーハ破損リスクの低減やスループット向上を実現します。またメトロロジユニットを搭載することが可能で、プロセス中の任意タイミングでウェーハ状態を測定できます。

MUSUBIのメリット

MUSUBIは、共通の搬送部に対し複数装置を接続できます。これにより、お客様の製造プロセスに応じた柔軟な装置構成を実現できます。なお、MUSUBI対応装置であれば、当社製以外の装置も接続できます。

例：DML7362,DMG8762,DME8061,DMM9200を接続した場合

MUSUBIは、ロボットを用いたウェーハ自動搬送により工程間の滞留を防ぎ、ライン全体のスループットを向上します。また、オペレータによる装置投入やレシピ選択などのマニュアル操作の頻度を削減することで、ウェーハ破損リスクを抑制し、安定した品質を実現します。

MUSUBI組込型メトロロジユニットGI@dMETROにより、プロセス中の任意タイミングで、ウェーハの厚み・うねり・画像測定が可能です。異常の早期検知が可能となり、測定結果を品質管理に活用できます。
校正に関わる国際規格「ISO/IEC17025:2017」の認定取得について

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