DFL7360LFFully Automatic Laser Saw
厚ウェーハの自由形状加工を実現するLEAF対応レーザソー
- Φ300 mmウェーハ対応
- アブレーション
- DFL7360LFは、レーザアブレーションを応用したLEAF対応のフルオートレーザソーです。高アスペクト比の加工により、厚物や狭カーフの分割が可能です。
- マスクレスで微細な直線/曲線加工が可能で、ユーザ指定の自由形状に対応します。
- ダイヤモンドやガラス、サファイアなど難削材の加工にも対応します。
自由形状加工
ユーザが作成したCADデータを取り込み任意形状のレーザ加工を実現します。また、装置画面にはピンチアウト機能などを搭載し、直感的な操作が可能です。
厚ウェーハ加工
厚さ1 mmまでのウェーハ加工に対応します。ご要望に応じて、厚さ10 mmまでの加工にも対応可能です（特殊仕様）。
加工時間シミュレーション機能
加工時間を事前に自動計算し、画面上に表示することで、オペレータの段取り作業をサポートします。
仕様
| 仕様 | 単位 | DFL7360LF | |
|---|---|---|---|
| 加工方式 | - | LEAF | |
| 最大ワークサイズ | mm | Φ300 | |
| X軸 (チャックテーブル) |
カット可能範囲 | mm | 210(形状加工) 310(直線加工) |
| 送り速度入力範囲 | mm/s | 1.0～1,000 | |
| Y軸 (チャックテーブル) |
カット可能範囲 | mm | 210(形状加工) 310(直線加工) |
| インデックスステップ | mm | 0.001 | |
| 位置決め精度 | mm | 0.003以内/310 (単一誤差)0.002以内/5 |
|
| Z軸 | 移動分解能 | mm | 0.0000024 |
| 繰り返し精度 | mm | 0.001 | |
| θ軸 (チャックテーブル) |
最大回転角度 | deg | 380 |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 1,100 × 2,245 × 1,800 | |
| 装置質量 | kg | 約2,250 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| 加工メソッド |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |
| DFL7160 | DFL7161 | DFL7262 |
| フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック |
| アブレーション | アブレーション | アブレーション |
| 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,560 × 1,550 × 1,800 | 1,560 × 1,680 × 1,800 |
| 1,750 | 2,300 | 2,360 |
DFL7360LFFully Automatic Laser Saw
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