DFG8020Fully Automatic Grinder
角型など多様なワーク形状に対応したグラインダ
最大390 mm角ワークを研削可能
300x300 mmの中型PLP基板など、最大390x390 mmの 角型ワークの搬送、研削加工、スピンナ洗浄を全自動で行います。
先端パッケージプロセスに対応
反ったパッケージ基板の搬送・吸着などハンドリング強化、NCG（非接触厚み測定器）での終点検知※、研削ホイールの加工中洗浄※などの仕様により先端パッケージの高度な加工要求に対応します。
※ いずれも特殊仕様
フレーム研削仕様(特殊仕様)
テープフレームに貼り付けたワークの加工も可能です。これにより反りワークの加工、複数枚同時加工、段取替えなしでの様々なワークサイズの加工に対応します。
パラレル研削(特殊仕様)
ワークフローの変更により一般的な粗研削→仕上げ研削に加えて、両加工軸で同一加工するパラレル研削にも対応可能です。
ワークフローシステム
- ロボットがウェーハカセットからワークを引き出す
- ロボット上でアライメント
- アーム１でチャックテーブルへ
- Z1スピンドルで研削
- Z2スピンドル側に搬送
- アーム２でチャックテーブルへ
- Z2スピンドルで研削
- アーム2でスピンナテーブルへ
- ロボットがワークをカセットに収納
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |
| DAG810 | DAG811 | DFG8340 | DFG8540 | DFG8541 | DFG8560 | DFG8640 | DFG8830 | DGP8761 | DGP8762 |
| オートマチック | オートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック |
| 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 4 | 3 | 3 |
| 1 | 1 | 2 | 3 | 3 | 3 | 3 | 5 | 4 | 4 |
| 600 × 1,700 × 1,780 | 600 × 1,500 × 1,800 | 800 × 2,450 × 1,800 | 1,200 × 2,670 × 1,800 | 1,100 × 2,800 × 1,800 | 1,400 × 3,190 × 1,800 | 1,000 × 2,800 × 1,800 | 1,400 × 2,500 × 2,000 | 1,690 × 3,315 × 1,800 | 1,690 × 3,451 × 1,800 |
| 1,300 | 1,600 | 2,500 | 3,100 | 3,000 | 4,000 | 3,500 | 6,000 | 6,700 | 6,850 |
DFG8020Fully Automatic Grinder
お問い合わせ
ご質問・ご相談等ございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。