StayClean-R的有效成分会不断的与焊接点(Bonding pad)等晶片上的金属表面接触,可减轻与纯水接触而引起的腐蚀。
StayClean-R有效成分的分子尺寸更小,更适用于离子交换树脂,使纯水制造中必不可少的离子交换,去除成为可能。
因此,StayClean-R既能对应DWR系列又同时兼顾了节水与抑制腐蚀。
即使在稀释10,000倍的低浓度下仍然能够有效地发挥防腐蚀性,可以实现用低成本抑制长时间加工时所产生的腐蚀。
另外,StayClean-R成分通过切割后的离心清洗便可简单除去,不必担心在晶片表面的残留。
纯水
纯水+StayClean-R
与原有的抑制腐蚀用添加剂相比,环境负荷较小,能够降低废水处理成本。
并且,与DWR组合使用,可以实现排水为零。
此外,系统中只有水进行循环,排水中含有的StayClean-R成分不进行循环。
Specification | Unit | StayClean-R | StayClean Injector |
---|---|---|---|
Solution appearance | - | Transparent colorless and light yellow liquid | |
Main ingredient | - | Water-solube polymer | |
pH(undiluted) | pH | 5.1 ± 0.3 | |
Density(15℃) | g/cm3 | 1.01 ± 0.02 | |
Residue/decomposition | mg/L | COD 21(JIS K0102-17) | |
(when diluted 1000 times) | mg/L | BOD 7.2(JIS K0102-21) | |
Recommended dilution | times | 1,000 - 10,000(0.1 - 0.01%) | |
Power supply , voltage | V | AC90-230 Single Phase 50/60 Hz | |
Supply water temperature | deg C | 20 - 25 | |
Supply water pressure | MPa | 0.2 - 0.5 | |
Process flow rate | L/min | 2 - 20 | |
Additive injection rate | % | 0.1 - 0.01(1,000 - 100 ppm) | |
Equipment dimensions(W×D×H) | mm | Injector 200 × 300 × 500 excluding projections Bottle stocker 357 × 392 × 440 excluding projections |
|
Equipment weight | kg | Injector Approximately.22(Dry mass) Bottle stocker Approximately.10(Dry mass) |
注意事项【使用前】
注意事项【使用時】
注意事项【保管時】